スピン カップ。 話題の新製品! マドラーいらずの自動かきまぜスピンカップ

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スピンコーター基礎技術 スピンコーターはレジストと呼ばれる感光性樹脂材料を基板(例えばシリコンウェーハ)に均一に塗布するための装置です。 ここでは均一に塗布するための要素を、例を交えながら説明いたします。 均一にレジストを塗布するために代表的なものとして、塗布環境のコントロールが挙げられます。 具体的には、レジストを塗布する環境の温度、および湿度を一定に保つ、ということです。 基本的にスピンコーターは、クリーンルームと呼ばれる清浄且つ温度と湿度が一定に保たれた空間に設置されておりますので、この問題はクリアされているところがほとんどかと思います。 しかし、温度や湿度が変動する環境に設置されていると、均一性および膜厚の再現性を損なってしまいます。 こういった事態を避けるべく、場合によっては塗布環境のみを局所的にコントロールする機構を備える場合もあります。 その他に留意すべき事項として、レジストを塗布する際のウェーハの温度、薬液の温度、排気流量が挙げられます。 塗布する際に基板温度が高くなると、滴下したレジストの乾燥が促進され、膜厚が厚い方向にシフトします。 また、排気流量が多すぎてもウェーハ外周部のレジストの乾燥が促進され、塗布膜の仕上がりは下に凸の(ウェーハ中央が薄い)形を取りやすくなります。 反対に排気能力が低い場合、スピンによってウェーハから吹き飛ばされてミスト化したレジストが、コーターカップ内で舞い上がり、そのまま塗布面へ返ってきてしまう(欠陥となる)可能性があり、また、臭気が外部に漏れてしまい、周辺の環境に影響を与えてしまうことが懸念されます。 レジストを滴下する方法によっても均一性は変わります。 例えば、違う人がレジストを塗布した場合、結果は必ずしも同じにはなりません。 少なからずそこには個人差が生まれてしまいます。 また、同じ人が塗布しても一回一回の塗布が同じ条件(レジストの滴下位置、レジストの滴下量など)になることは大変難しいです。 このような個人差、または個体差を軽減するためには、自動でレジストを滴下するディスペンサを採用することが挙げられます。 自動ディスペンサはプログラム通りの動きのみしか行いませんので、レジストを滴下するタイミングや位置、および滴下量の再現性は人が行うことに比べ、大幅に優れています。 研究・開発の運用であれば、レジストはオペレーターが滴下するマニュアルコーターで十分かもしれませんが、生産では自動ディスペンス機能が備わっているセミオートコーターまたはオートコーターを推奨します。 スピンコーターを使用してレジストを塗布しますと、ウェーハの外周部にレジストの盛り上がりが発生し、ウェーハ裏面にまでレジストが回り込んだりします。 この盛り上がりと回り込みは除去しておかないと、後の工程に多大な影響を及ぼします。 その一例として、露光機のステージを汚してしまうことが挙げられます。 ステージを汚すだけでなく、露光のフォーカスが合わなくなり、不良の原因に直結することもあります。 このような事態を避けるため、外周部のレジスト除去(エッジリンス)および裏面のレジスト除去(バックリンス)が重要となるのです。

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スピンコートについて

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ヘッドスピードが速いゴルファーほど飛距離が出るというのは、ゴルファーならば、誰でも知っている常識ではないでしょうか? 物理的に言いますと、ボールに加わる力は、クラブヘッドの重さとヘッドスピードに比例します。 ドライバーのヘッドの重さが、どのクラブも大差がない以上(大体200グラム前後)、飛距離を左右するのがヘッドスピードというのは、半分正解です。 半分正解というのは、実際の飛距離はヘッドスピードだけでは決まらないからです。 ボールをより遠くまで飛ばすには、ボールが飛び出すときの角度(打ち出し角度)と、ボールに与えられたスピン量が適正でなければいけません。 打ち出し角度が大き過ぎますと、いわゆるテンプラになってしまい、飛距離が出ないのはご存知の通りです。 また、スピン量が多過ぎますと、ボールの初速は速くても、途中から急上昇してストンと落ちる、いわゆる吹き上がったボールになってしまいます。 クラブメーカーの実験によれば、理想的な打ち出し角度はプロゴルファーで13~15度、アマチュアゴルファーで15~18度だそうです。 打ち出し角度を左右する最も大きな要素は、クラブのロフトですが、シャフトによっても左右されます。 さらに、プロとアマで理想的な打ち出し角度が違うことでも分かるように、ヘッドスピードによっても、理想的な打ち出し角度は違ってきます。 ボールに与えられるスピンには、バックスピン、サイドスピン、さらに飛球線に対して垂直に回転するライフルスピンの3つがありますが、飛ばしに最も関係するのがバックスピンの量です。 ゴルフボールが遠くに飛ぶのは、バックスピンによって揚力が与えられるからですが、バックスピン量が多過ぎますと、ボールは高く上がっても遠くに飛びません。 反対にバックスピン量が少ないと、ボールに理想的な弾道の高さが得られず、早くドロップして、やはり飛ばないということになります。 そのバックスピン量を決める最も大きな要素はロフトです。 サンドウェッジのようにロフトが大きなクラブほど、インパクトの際、クラブフェースがボールに対して斜めに入ってきますから、バックスピンがより多くかかります。 例えば、ドライバーの理想的なバックスピン量は、毎分2200~2600回転と言われていますが、サンドウェッジでボールがバックスピンするようなショットですと、毎分10000回転前後にもなるといいます。 飛距離をアップさせるためには、実はもうひとつ方法があります。 それは「ミート率」を上げることです。 「ミート率」というのは、一言で言いますと「芯で打つ確率」です。 プロゴルファーであれば、男女を問わず1. 4以上はあります。 これがアマチュアになりますと、1. 2~1. 3くらいに落ちます。 これでは、ヘッドスピードに応じた力が100パーセント伝わりませんので、飛距離が落ちるというわけです。 つまり、飛距離を伸ばすためには、ヘッドスピードを上げるだけでなく、ボールの初速を上げる必要があるのです。 それでは、ミート率を上げるためにはどうしたらいいでしょう? 「芯に当てる」といいますと、インパクトばかりに意識が集中してしまいがちですが、それよりも大切なのはスイング軌道です。 プロとアマのインパクトからフォロースルーを比較すると、プロはクラブヘッドが最下点を過ぎ、アッパー軌道でボールをヒットしています。 そして、その後、ボールとクラブヘッドの軌道は見事に一致しているのです。 一方、アマチュアは最下点がインパクト後にあり、飛んでいくボールとクラブヘッドの軌道がずれてしまっている人が実に多いのです。 プロのインパクトは、言ってみれば点ではなく、ゾーンになっており、ボールを「押している」ともいえます。 だから、ミート率が良くなるだけなく、ボールを押すことによって、より飛距離が得られるというわけです。

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【究極の時短グッズ】マドラー不要、温かい飲料を注ぐだけで飲料をかき混ぜてくれる自動撹拌マグ「スピンカップ2」 | 男の隠れ家デジタル

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スピンコーターとは? ウェットコーティングの手法の一種で、塗布対象物を高速で回転させ遠心力を利用してコーティングする装置です。 平面な塗布対象物に向いており、レンズやシリコンウェハーへのコーティングに用いられています。 当社のご提供する装置は、真空チャック式の小型装置で、民間の研究所や大学等研究機関でご利用いただいています。 装置の選び方は? ご使用される塗布対象物の最大サイズ、回転させる速度によりご選定出できます。 塗布対象物の材質、形状によりステージ部分のカスタマイズが必要になることがあります。 スピンコーター試料台について あすみ技研では、お客様のご要望にお応えするため、標準の試料台のご用意だけでなく、試料台の材質・形状のカスタマイズも承っております。 特殊な形状のワークや塗布液に対応した試料台の製作も可能となりますので、お気軽にご相談ください。 ワークサイズの考え方は? 右図のように、カップの内径で最大サイズが制限されます。 試料台の選定はどうしたらいいでしょうか? ワークの材質・形状・重量、使用する塗布液によって、ワークの真空吸着が可能か、試料台の耐薬品性に問題がないか決まります。 ステップとは? 回転数を変化して処理する数をいいます。 例えば、最初500rpm 2分、その後、3,000rpm 5分処理し、終了する場合は、『2ステップ』になります。 操作は簡単ですか? ステップ毎に回転数や回転時間(キープ時間)の設定が分かり易いよう配置しています。 初めてご利用される方でもストレス無しにご使用可能です。

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